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详细解析白光干涉仪的原理、应用以及使用特点

发表时间:2021-12-27  |  点击率:46
  白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
 
  白光干涉仪原理:
  干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起,所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度,干涉条纹每移动一个条纹间距,光程差就改变一个波长(~10-7米),所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的,其测量精度之高是任何其他测量方法所无法相比的。
 
  应用领域:
  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
 
  特点:
  1、非接触式测量:避免物件受损。
  2、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm-200μm。
  3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
  4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达0.1nm。
  5、高速数字信号处理器:实现测量仅需几秒钟。
  6、扫描仪:闭环控制系统。
  7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
  8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。