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    硬化涂层膜厚仪

    简要描述:硬化涂层膜厚仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,要求的光斑尺寸小到几个微米,如微图案表面,粗糙表面及许多其他表面。

    • 产品型号:FR-Mic
    • 厂商性质:代理商
    • 更新时间:2021-12-13
    • 访  问  量: 2471

    详细介绍

    硬化涂层膜厚仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,要求的光斑尺寸小到几个微米,如微图案表面,粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台计算机控 制的XY工作台,使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。品牌属于Thetametrisis。

    Thetametrisis利用 FR-Mic,通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度,厚度映射,光学常数,反射率,折射率及消光系数进行测量。

    【相关应用】

    1.高校 & 研究所实验室

    2.半导体制造

    3.(氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)

    4.MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)

    5.LEDs, VCSELs

    6.数据存储

    7.阳极处理

    8.曲面基底的硬镀及软镀

    9.聚合物膜层, 粘合剂

    10.生物医学(聚对二甲苯, 生 物膜/气泡壁厚度.)

    11.还有许多…

    Thetametrisis膜厚仪特点】

    1、实时光谱测量

    2、薄膜厚度,光学特性,非均匀性测量, 厚度映射

    3、使用集成的,USB连接高品质彩色摄像机进行成像

     

     

    Thetametrisis膜厚仪产品优势】

    1、单击即可分析 (无需初始预测)

    2、动态测量

    3、包含光学参数 (n & k, color)

    4、可保存测量演示视频录像

    5、超过 600 种不同材料o 多个离线分析配套装置o 免费操作软件升级

    【技术参数】

    型号

    UV/VIS

    UV/NIR-EXT

    UV/NIR-HR

    DUV/NIR

    VIS/NIR

    DVIS/NIR

    NIR

    光谱波长范围(nm)

    200–850

    200–1020

    200-1100

    200–1700

    370–1020

    370–1700

    900–1700

    光谱仪像素

    3648

    3648

    3648

    3648&512

    3648

    3648&512

    512

     

     

     

    膜厚测量范围

    5X-VIS/NIR

    15nm–60μm

    15nm–70μm

    15nm–90μm

    15nm–150μm

    15nm–90μm

    15nm–150μm

    100nm–150μm

    10X-VIS/NIR

    10X-UV/NIR*

    4nm–50μm

    4nm–60μm

    4nm–80μm

    4nm–130μm

    15nm–80μm

    15nm–130μm

    100nm–130μm

    15X-UV/NIR*

    4nm–40μm

    4nm–50μm

    4nm–50μm

    4nm–120μm

    20X-VIS/NIR

    20X-UV/NIR*

    4nm–25μm

    4nm–30μm

    4nm–30μm

    4nm–50μm

    15nm–30μm

    15nm–50μm

    100nm–50μm

    40X-UV/NIR*

    4nm–4μm

    4nm–4μm

    4nm–5μm

    4nm–6μm

    50X-VIS/NIR

    15nm–5μm

    15nm–5μm

    100nm–5μm

    测量n&k蕞小厚度

    50nm

    50nm

    50nm

    50nm

    100nm

    100nm

    500nm

    光源

    氘灯&卤素灯(internal)

    卤素灯(internal)

    材料数据库

    >600不同材料

    *测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和 FR-uProbe 的孔径大小有关。

    物镜

    光斑尺寸(μm)

     

    500μm孔径

    250μm孔径

    100μm孔径

    5x

    100μm

    50μm

    20μm

    10x

    50μm

    25μm

    10μm

    20x

    25μm

    17μm

    5μm

    50x

    10μm

    5μm

    2μm

    【工作原理】

     

     

    *规格如有更改,恕不另行通知, 测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较, 连续 15 天测量的标准方差平均值。样品:1um SiO2 on Si., 100 次厚度测量的标准方差,样品:1um SiO2 on Si.

    *超过 15 天的标准偏差日平均值样品:1um SiO2 on Si。

    以上资料来自Thetametrisis,如果有需要更加详细的信息,请联系我们获取。

     

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