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    美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备

    简要描述:美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备:在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样,以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

    • 产品型号:FSM 128
    • 厂商性质:代理商
    • 更新时间:2022-01-20
    • 访  问  量: 238

    详细介绍

    美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备

      在衬底镀上不同的薄膜后, 因为两者材质不一样,以及不同的材料不同温度下特性不一样, 所以会引起应力。 如应力太大会引起薄膜脱落, 引致组件失效或可靠性不佳的问题。 薄膜应力激光测量仪利用激光测量样本的形貌,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的变化, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改进工艺的有/效手段。

      1) 快速、非接触式测量

      2) 128型号适用于3至8寸晶圆

      128L型号适用于12寸晶圆

      128G 型号适用于470 X 370mm样品,

      另可按要求订做不同尺寸的样品台

      3) 双激光自动转换技术

      如某一波长激光在样本反射度不足,系统会自动使用

      另一波长激光进行扫瞄,满足不同材料的应用

      4) 全自动平台,可以进行2D及3D扫瞄(可选)

      5) 可加入更多功能满足研发的需求

      电介质厚度测量

      6) 500 及 900°C高温型号可选

      7) 样品上有图案亦适用

    image007.jpg

    美国FSM 薄膜应力及基底翘曲测试设备  FSM128规格

      1) 测量方式: 非接触式(激光扫瞄)

      2) 样本尺寸:

      FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

      FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

      FSM 128G: /大550×650 mm

      3) 扫瞄方式: 高精度单次扫瞄、2D/ 3D扫瞄(可选)

      4) 激光强度: 根据样本反射度自动调节

      5) 激光波长: 650nm及780nm自动切换(其它波长可选)

      6) 薄膜应力范围: 1 MPa — 4 GPa

      (硅片翘曲或弯曲度变化大于1 micron)

      7) 重复性: 1% (1 sigma)*

      8) 准确度: ≤ 2.5%

      使用20米半径球面镜

      9) 设备尺寸及重量:

      FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

      FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

      FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

      电源 : 110V/220V, 20A

     

     

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