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    FilmSense多波段椭偏仪

    简要描述:FilmSense 椭偏仪 FS-1 可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析,适用于薄膜材料的快速测量表征.

    • 产品型号:FS-1
    • 厂商性质:代理商
    • 更新时间:2021-12-13
    • 访  问  量: 628

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    详细介绍

      FilmSense 椭偏仪 FS-1介绍
     
      创新的
     
      FilmSense FS-1多波长椭偏仪使用长寿命LED光源设计,使用寿命大于5000小时,同时FS-1的设计结构没有转动部件以确保设备的稳定性。总的来讲,FS-1是一台简单易用的紧凑型设计的椭偏仪但它能提供快速、可靠的薄膜测量。
     
      强大的
     
      大多数透明薄膜的膜厚度从0-1000nm都可以测量,FS-1提供不错的准确度与良好的稳定性,而且在1秒时间内就可以得到测量结果,同时光学常数n和k和其他性能也可以测量。
     
      负担得起的
     
      FS-1是多波长椭偏仪,但用户可以用相当于单波长椭偏仪或光谱反射仪系统的价格,却得到多波长椭偏仪的品质。FS-1可用于实验室研究,教学,在线制程监控,工业品质控制等应用。
     
    什么是椭偏仪
     
      椭偏仪是测量样品反射光偏振态的变化。椭偏测量是由下面的公式量化,是相位差。ρ是反射光的偏振光Rp和偏振光Rs的反射率比。椭偏仪ψ参数是和ρ的大小有关,Δ参数是相位复合比。
     
    用椭偏数据来分析确定感兴趣的样品参数,如薄膜厚度和折射率,光学模型等
     
      椭偏仪的优点:
     
      1、椭偏仪是测量比率,所以它对光束强度的变化,或样品的缺陷引起散射光不敏感的。
     
      2、椭偏仪在每个波长测量2个量(Ψ and Δ),可以确定2个定量比如薄膜厚度,以及光学常数或基底的折射系数和消光系数。
     
      3、椭偏仪对薄膜Δ参数相位差极其敏感,能够准确的测量薄膜厚度低至0Å。
     
      FilmSense 椭偏仪 FS-1主要特点:
     
      1、四种LED光源:蓝色(465nm)、绿(525nm),黄色(580nm),红色(635nm)
     
      2、在没有运动部件的椭偏仪
     
      3、优异的厚度测量精度,优于0.001nm的样品(1秒获得测量结果),甚至适用于亚单原子层膜的厚度
     
      4、集成计算机仪器控制和数据分析,任何电脑,台式机,手提都可以从web浏览器界面获得数据
     
      优点
     
      1.长寿命(>50000小时),不用频繁更换昂贵的灯泡,或定时校正或周期维护。
     
      2.快速多次测量(多波长数据在10毫秒)且长期可靠性
     
      3.测量精度只有用椭偏仪才能达到
     
      4.没有复杂的软件设置和维护
     
      表现
     
      FS?1测量透明单层膜的厚度和折射率,厚度测量范围从0到1000nm.经典的FS-1对多种样品都能提供稳定的测量,包括多层膜。如下表所示。如需有关测量技术和更多细节,请联系Film Sense并要求我们提供测量报告。
     
      FS-1多波长椭偏仪
     
      多波长的优点
     
      1.独特的宽范围膜厚测量功能,对于透明膜至少可达1μm(无厚度周期性问题)。
     
      2.测量更多的样品参数,如:表面粗糙度,多膜厚度,折射率色散。
     
      3.提供一致性检验数据,分析一个合格?分析模型,该模型适用于四个波长的数据。
     
      独特的技术
     
      1.多?波长的椭偏技术
     
      2.光学模型补偿的LED带宽
     
      3.具备光束不对位的补偿功能
     
      4.模型验证功能
     
    应用
     
      1、FS – 1是多波长椭偏仪,但用户可以用相当于单波长椭偏仪或光谱反射仪系统的价格,却得到多波长椭偏仪的品质。FS -1可用于实验室研究,教学,在线制程监控,工业品质控制等应用。
     
      2、半导体行业:硅的氧化物和氮化物,高和低k介质、多晶和非晶硅薄膜,光刻胶
     
      3、光学涂覆工业:高、低折射率薄膜如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2,等。
     
      4、显示行业:导电层(如ITO),非晶硅薄膜、有机薄膜(OLED技术)
     
      5、数据存储产业:类金刚石薄膜
     
      6、R&D 工序:薄膜沉积的原位表征(速率和光学常数)对应工艺条件的变化值,适用于MBE、MOCVD、ALD、溅射等。
     
      7、化学和生物:亚-单层材料吸附液体中的细胞实验检测
     
      8、工业:在线监测和控制薄膜的厚度
     
      光谱测量(通过光谱椭偏仪或光谱反射)有可能描述单个薄膜表征样品或2、3层膜结构。FS-1软件里的模型验证功能也可以成功确定一个特定的样本结构。
     
      原位的能力
     
      1.亚原子单层厚度精度
     
      2.在真空环境中,测量多种工艺条件下薄膜光学常数n&k值以及沉积速率
     
      3.监视和控制多层膜结构的沉积
     
      4.FS?API接口为外部软件控制(LabVIEW兼容)
     
      5.适用于大多数的薄膜沉积技术:溅射,ALD,MBE,MOCVD,电子束蒸发等。
     
    原位检测功能
     
      FS?1是理想的原位实时监测和控制薄膜沉积工艺的设备
     
      1.LED光源和无运动部件检测器,坚固可靠,快速测量
     
      2.结构紧凑,重量轻的光源和检测器单元(≈每个1公斤)
     
      3.可选的适配器安装在标准的2.75?或1.33?的Conflat法兰(可以在不关闭真空的条件下进行安装)
     
      4.易于调整平台倾斜
     
    聚焦光束检测
     
      聚焦光束检测系统结合了FS-1多波长的椭偏仪的聚焦光学系统和手动转换平台。该系统是半导体晶圆图案的手动检查和质量控制测量理想的工具。
     
      •小光斑尺寸和相机成像运行
     
      •手动转换平台,容纳4,5,和6晶圆直径。
     
      •样品上的光束大小:0.3×0.7毫米
     
      •视频观察样品上光束位置
     
    软件
     
      FS-1软件获得了椭偏数据,并报告样本参数(厚度、折射率,等等),都源于测量。FS-1软件运行在电脑里面的FS-1探测器单元,和一个标准的Web浏览器提供了软件的用户界面。任何台式机,笔记本电脑,或平板电脑,支持现代Web浏览器(Windows,Mac OS X,Linux,iOS,Android)可以使用以太网连接操作的FS1(没有互联网和Web访问的情况 下)。从Web浏览器界面通讯主要优点是,无需安装软件,从而大大简化了FS-1的安装与操作设置。
     
      单一的测量模式使得常规样品测量如点击按钮一样容易。
     
    模型验证器验证所有的模型拟合参数将独特地收敛在 的范围内。
     
    分析模型的模式提供了强大的功能来分析和可视化 的FS-1椭偏数据。
     
    特征
     
      1、常规的样品检测,原位多层膜监控,多样品测量,和轨迹数据分析模式.
     
      2、多达10个模型层,与可选的表面粗糙度,和衬底背面校正分析功能。
     
      3、参数范围和初增量以提高拟合参数的匹配性.
     
      4、Bruggeman介电常数近似以理论用于混合材料以及分级指标层分析
     
      5、柯西和Sellmeier色散模型。
     
      6、温度或成分相关的光学常数库文件。
     
      7、去极化或透射强度数据可以结合多波长数据分析。
     
      8、模拟单一测量或动态数据。
     
    关于我们
     
      Film Sense---拥有超过20年行业经验的椭偏仪制造商。20年如一日的严谨,为的是创造出的椭偏仪系统,为广泛范围的薄膜应用提供不错的测量解决方案。

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