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多层膜厚度测试

简要描述:FR-Mic 多层膜厚度测试仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,可以将 光斑缩小到几个微米,进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。

  • 产品型号:FR-Mic
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-12-15
  • 访  问  量: 52

详细介绍

  FR-Mic多层膜厚度测试仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,可以将 光斑缩小到几个微米,进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配备一台专 用计算机控 制的 XY 工作台,使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特 性 。也可以搭配自动平台测量 400x400mm 大小样品。
 
  Thetametrisis利用 FR-Mic,通过紫外/ 可见/ 近红外可轻易对局部区域薄膜厚度,厚度映射,光学常数,反射率,折射率及消光系数进行测量。
 
  【相关应用】
 
  高校 & 研究所实验室
 
  半导体制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻胶及其他半导体薄膜.)
 
  MEMS 器件 (光刻胶, 硅膜等.)
 
  LEDs, VCSELs 多层膜测量应用
 
  数据存储
 
  阳极处理氧化膜
 
  曲面基底的硬化涂层
 
  聚合物膜层, 粘合剂.
 
  生 物医学(聚对二甲苯, 生物膜/气泡壁厚度.)
 
  OEM或客制化应用
 
  【特点】
 
  实时光谱测量
 
  薄膜厚度,光学特性,非均匀性测量, 厚度映射
 
  使用集成 USB 高品质彩色摄像机进行成像 (所視即所測)

 【技术参数】


 
  *测量面积(收集反射或透射信号的面积)与显微镜物镜和 FR-uProbe 的孔径大小有关。
 
  【工作原理】
  
 
  1、规格如有更改,恕不另行通知;
 
  2、测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较,
 
  3、连续 15 天测量的标准方差平均值。样品:(1um SiO2 on Si.) ,
 
  4、100 次厚度测量的标准方差,样品:1um SiO2 on Si.
 
  5、超过 15 天的标准偏差日平均值样品:1um SiO2 on Si。
 
  6、使用反射式物鏡。

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