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纳米压痕仪

简要描述:纳米压痕仪支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并可选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键对准和纳米压印光刻(NIL)。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-12-16
  • 访  问  量: 82

详细介绍

纳米压痕仪简介:
该工具支持多种标准光刻工艺,例如真空,软,硬和接近曝光模式,并可选择背面对准。此外,该系统还为多功能配置提供了附加功能,包括键对准和纳米压印光刻(NIL)。EVG610提供快速的处理和重新安装工具,以改变用户需求,光刻和NIL之间的转换时间仅为几分钟。其先进的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求,因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。
 
对于压印工艺,EVG610允许基板的尺寸从小芯片尺寸到直径150毫米不等。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外,还可以包括印章的释放机制。EV Group专有的卡盘设计可提供均匀的接触力,以实现高产量的压印,该卡盘设计既支持软印章也支持硬印章。
 
纳米压痕仪技术数据:
1) 晶圆直径(基板尺寸)
2) 标准光刻:碎片蕞大150毫米
3) 柔软的UV-NIL:蕞大150毫米的碎片
4) 解析度:≤40 nm(分辨率取决于模板和工艺)
5) 支持流程:柔软的UV-NIL
6) 曝光源:汞光源或紫外线LED光源
7) 自动分离功能:不支持
8) 工作印章制作:外部
 
纳米压痕仪特征:
1) 顶部和底部对准能力
2) 高精度对准台
3) 自动楔形误差补偿机制
4) 电动和配方控制的曝光间隙
5) 支持新的UV-LED技术
6) 蕞小化系统占地面积和设施要求
7) 分步流程指导
8) 远程技术支持
9) 多用户概念(无限数量的用户帐户和配方,可分配的访问权限,不同的用户界面语言)
10) 敏捷处理和光刻工艺之间的转换
11) 台式或带防震花岗岩台的单机版
 
纳米压痕仪主要应用:
具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统,支持尺寸从碎片到蕞大150毫米。
 
附加功能:
1) 键对准
2) 红外对中
3) 纳米压印光刻
4) 微接触印刷
 
纳米压印工艺结果:

图1  微镜头

 图2  纳米压印结果(100纳米分辨率)

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