硅片厚度测量仪采用的是近红外光(NIR)来测量膜层厚度,因此可以测试一些肉眼看是不透明的膜层( 比如半导体膜层) 。980nm波长型号,F3-s980,专门针对低成本预算应用。F3-s1310针对于高参杂硅应用。F3-s1550则针对较厚膜层设计。
显示器薄膜测量仪独特的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此,在准确性、重现性和长期稳定性方面保证了优异的性能。
FR-Mic 多层膜厚度测试仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,可以将 光斑缩小到几个微米,进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。